探知未來
原子力顯微鏡（AFM）是在樣品表面用微小的探針進(jìn)行掃描，通過高倍率觀察三維形貌和局部物理特性的顯微鏡總稱。SPM-9700HT更是性能高、速度快、操作簡單的新一代掃描探針顯微鏡。

縮短觀察時間  高通量掃描
通過新開發(fā)的可快速響應(yīng)的HT掃描器以及軟件與控制系統(tǒng)設(shè)計的優(yōu)化，成功實(shí)現(xiàn)以傳統(tǒng)設(shè)備5倍以上的速度（與本公司相比）獲取圖像數(shù)據(jù)。

掃描器可簡單更換，因而可使用傳統(tǒng)掃描器。另外，可通過在原SPM-9700上追加HT掃描器，實(shí)現(xiàn)設(shè)備的分析。

分析案例

• 金屬蒸鍍膜的表面粗糙度分析

以1Hz和5Hz的掃描速度對金屬蒸鍍膜的表面形貌進(jìn)行觀察。畫質(zhì)及表面粗糙度的分析結(jié)果相同。

• 光柵溝槽形狀檢測

以1Hz和5Hz的掃描速度對光柵的表面形貌進(jìn)行觀察。經(jīng)過斷面形狀分析，溝槽形狀檢測結(jié)果均相同。

探針安裝夾具——“探針專家”（選配）

可輕松地準(zhǔn)確安裝探針。

安裝順序：
① 將探針架安裝在探針安裝夾具上。
② 將探針置于滑動臺上。
③ 將探針插入探針架并固定，保持探針能夠滑動。

高速分析處理
·無需拆除懸臂架即可進(jìn)行樣品交換。
·在SPM觀測時，也可接觸樣品。
·無論樣品的厚薄，可自動驅(qū)近到更適宜的觀測位置。

SPM-9700HT 高速分析處理的秘訣
優(yōu)異的操作性能  -樣品更換的分析處理比較-

SPM-9700HT僅用鼠標(biāo)即可實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)、放大縮小、Z軸倍率的自由變化，調(diào)節(jié)圖像角度和倍率。更有將高度信息和其他物理信息重合顯示的質(zhì)感功能和3D斷面形狀分析功能，由此實(shí)現(xiàn)高度分析，提高圖像確認(rèn)的效率。

鼠標(biāo)操作即可實(shí)現(xiàn)豐富的3D圖像顯示

質(zhì)感功能
能夠?qū)⒏叨刃畔⒑推渌奈锢硇孕畔⒅睾巷@示。兩者關(guān)系也可明確顯示。

3D斷面形狀分析
能夠在3D顯示時進(jìn)行斷面形狀分析。質(zhì)感功能顯示物理性信息時，也可在同一位置分別顯示各種各樣的斷面形狀，并進(jìn)行分析。

從觀察到分析實(shí)現(xiàn)無拘無束的可操作性

從在線觀察到離線分析采用新界面（GUI）設(shè)計，實(shí)現(xiàn)了從觀察操作到觀察位置、結(jié)果分析的簡單便捷操作。

操作簡單明確
從啟動到觀察、分析，均無復(fù)雜的設(shè)定，輕松點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可進(jìn)行操作。 自動進(jìn)針，自動掃描，全程保護(hù)探針不受損傷，同時保證圖像分辨率和探針壽命。